擴散硅壓力變送器SH2188
擴散硅壓力傳感器工作原理
擴散硅壓力傳感器的壓力直接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷),使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻值發(fā)生變化,和用電子線路檢測這一變化,并轉(zhuǎn)換輸出一個對應于這一壓力的測量。
擴散硅壓力傳感器的特點
1、適合制作小量程的傳感器
硅芯片的這種力敏電阻的壓阻效應在零點附近的低量程段無死區(qū),制作壓力傳感器的量程可小到幾個Kpa。
2、輸出靈敏度高
硅應變電阻的靈敏因子比金屬應變計高50~100倍,故相應的傳感器的靈敏度就很高,一般量程輸出為100mv左右。因此對接口電路無特殊要求,使用比較方便。
3、精度高
由于傳感器的感受、轉(zhuǎn)換和檢測三部分由同一個元件實現(xiàn),沒有中間轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié),重復性和遲滯誤差較小。由于單晶硅本身剛度很大,變形很小,保證了良好的線性。
4、由于工作單性形變低至微應變數(shù)量級,彈性芯片大位移在亞微米數(shù)量級,因而無磨損,無疲勞,無老化,壽命長達1×103壓力循環(huán),性能,可靠性高。
5、由于硅的優(yōu)良化學防腐性能,即使是非隔離型的擴散硅壓力傳感器,也有相當程度的適應各種介質(zhì)的能力。
6、由于芯片采用集成工藝,又無傳動部件,因此體積小,重量輕。
擴散硅壓力變送器SH2188
擴散硅壓力傳感器的性能參數(shù)
測量介質(zhì):與316L不銹鋼兼容的各種、氣體或蒸汽
量程范圍:-100 kPa~0~2kPa…60MPa
壓力:表壓、絕壓、密封壓
恒壓供電:推薦10VDC,大15VDC
恒流供電:推薦1.5mA,大4mA
橋路電阻:4000Ω(典型值)
綜合精度:0.1%FS,0.3%FS,0.5%FS可選
溫度漂移:0.02%FS/℃
時間漂移:≤0.2%FS/年
補償溫度:0~80℃
介質(zhì)溫度:-40~125℃
溫度:-40~85℃。
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